“哦？都有哪些传感器？”

孙厂长坐直了身体。最新地址发送任意邮件到 ltx Sba@gmail.ㄈòМ 获取

“到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器......”

陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。

既然明白了“他”做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。

更不提，“他”提供了好几种通用结构。

所以，有些传感器，是原来“他”实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。

“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

“陀螺仪？陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗？”

刘院长身边的中年，站了起来。

陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。

“您是？”

孙厂长回询问。

“我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”中年没有透露姓名，其他互相看了一眼，也就不问了。

“你还没有回答我的问题呢？小伙子！”

“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”

陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。

-------

微电子实验室。

“你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”

张栋被气得浑身发抖。“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！让你一抖，就这么没了！”

“没有全废吧。那一半不是还能用吗？”

自知犯了大错的成兴，试图分辨。

1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。

“哦，天啊！我真是受够了。”

张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意！让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”

“老张，有点耐心。”

在旁边工作台做实验的科研员，边作，边劝解。“你不能期望所有都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”

“老师，让我们两个一组吧。这次我们小心点。”

云丽上前一步。

有了台阶下，张栋的态度好了一点。“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。剩下的冯言，自己一组。”

被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班生。

在MEMS小组内，虽然不多，但隐隐分成了几派。

于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，脆是陈泉二的姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。

而云丽和成兴，被拉小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事也有些畏首畏尾。

由于相似的处境，两个最近有点抱团取暖的意思。

----------

会议室。

看到样品，感兴趣的客，纷纷离开座位，围了过去。

“这不对吧。”

王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。

“什么不对？”

冰飞的周总工，就在他的身边。

“这种结构，以现在的MEMS工艺，根本加工不出来吧。”

王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。“我记得，MEMS所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高宽比、高垂直度。”

牺牲层技术（工艺），1985年才被引到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。

王工的专业评价，大多数没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。

“是的。这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”

陈泉没有丝毫慌。

记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。

之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《Applied Physics Letters，应用物理快报》采用有些关系。

应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与MEMS有关联的期刊里，最好的一波期刊了。其SCI影响因子超过了4。

（真正的MEMS专业期刊，还没有面世。）

按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她，都没有任何感觉。

前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。

例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，脆苏醒。可现在，没有消息，就是最坏的消息。

所以两个，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。

这次的目标，盯叮住了CNS（CELL， SCIENCE， NATURE），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。

这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。

这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个，心选出来的目标。

.....

“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”

王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。

“嗯，姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利，就有它一个。”

国际专利申请的初期，花钱不算太多，800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差，MEMS项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。

“这个工艺叫什么名字？”

“嗯，叫.....”

陈泉挠了挠。

所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。

“我还没有给它起名呢。要不就叫硅刻蚀工艺吧。”

陈泉按照直觉印象，随起了个名字。名字说出后，感觉还不错。

“硅刻蚀工艺？那是什么东西？”

王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下，这个工艺是如何实现的？”

“能倒是能，不过这可就是真正的核心技术了.....”

陈泉十分为难，看向四周，满脸的不放心。

“王工，你就别难为.....”

林书强跑过来帮腔。

“哈，小伙子，你小瞧了我。”

王工突然虎躯一震，挺直了身体。“只要你能说服我，